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COMSOL Multiphysics模拟MEMS执行器的热膨胀效应

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发布时间:2010-12-03

类型: MEMS模块

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视频说明:

    本案例基于COMSOL Multiphysics V4.1版本操作,主要研究MEMS执行器中的热膨胀效应,执行器为多晶硅材料,由两个“热臂”和一个“冷臂”构成,通电后焦耳热产生的温度升高会使“热臂”产生变形,导致执行器发生弯曲。     操作版本:COMSOL Multiphysics V4.1 


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