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COMSOL模拟微型驱动器电热耦合分析

视频来源:中仿科技

发布时间:2012-02-09

类型: MEMS模块

标签: COMSOL 微型驱动器 电热耦合

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视频说明:

本视频主要介绍COMSOL模拟微型驱动器的工作原理,该微型驱动器芯片结构有薄臂、宽臂、弯曲部分和两个固定端组成,固定端除了起到支持作用外,还可以导电和导热。驱动器是根据薄臂和宽臂热膨胀系数的不同而工作的。当不同的电压施加于两个固定端时,电流通过薄臂和宽臂会生成热量由于两个臂的宽度不同,驱动器的薄臂比宽臂具有更高的电阻,因此薄臂会产生更多的热量。不均匀的受热会产生不均匀的热膨胀,并也会引起驱动器尖端的偏斜。在模拟中我们通过内插函数来引入随温度变化的材料属性。 操作版本:COMSOL Multiphysics V4.2


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